超純水のグレードを表すため使用される指標は複数あるが、いずれも水中の不純物を何らかの手法で評価しているに過ぎず、例えば「超純水度」といったようなものは存在しない。これは超純水の製造・管理・利用目的がほぼ産業用途に限られ、ある産業分野で最も重視される指標が他分野では仕様外となる場合すらあるなど共通の基準が必要なかった背景による。実際、同じ工場でもラインによって管理指標の項目や基準値が異なることも珍しくない。
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水質管理指標として一般に次のようなものが利用されているが、その他にも用途次第で多様な指標が利用されている。
工場で使用する超純水は、複数系統の単位装置を連ねたプラントで製造するのが基本で、数千?数万m3の超純水を毎日途切れることなく製造し続ける事ができる。これをスケールダウンした製造能力が一日に数十m3以下のパッケージ製品なども広く利用されている。 一方、研究室用の小型・卓上装置など、ユニット化されたメンテナンスフリーをうたう製品も普及してきている。
今日の一般的な製法では、まず純水を製造し、これを原料とする（一次純水と呼ばれる）。
一次純水は、加熱後に逆浸透膜を通したり、真空タンクなどの脱気装置や高純度の窒素ガスで曝気する脱酸素工程を経て、溶存酸素を0.1mg/L程度まで低減する。これは、要求水準に応えるためと同時に、好気性菌が大部分を占める生菌の増殖を抑える目的がある。